Команда АКСОНИМ и лаборатория INTECH (центр компетенций) могут разработать и поставить заказчику специализированное оборудование для быстрого термического отжига (кремниевые пластины, ситалловые подложки и др.).
Наши конструкторы имеют соответствующий задел и компетенции в области разработки оборудования для БТО, включая разработку программного обеспечения и технологическое сопровождение.
действующий макет оборудования для БТО (для уточнения технического задания, параметров обработки, расчета камеры для обработки, отладки программного обеспечения) – 2 мес.; установка БТО для проведения заказчиком исследований, получения экспериментальных данных, разработки заказчиком технологических процессов – 4-7 мес. установка БТО для производственных процессов: автоматическая загрузка-выгрузка из кассеты в кассету, контролируемая среда обработки, программное обеспечение для управления процессом, контроля параметров, повышения процесса воспроизводимости – 7-9 мес.
температура обработки образцов: до 1200 град С, в зависимости от требуемой технологии – до 500 град С, 850 град. С и др.; потребляемая мощность – зависит от требуемой технологии, стандартный вариант 12 кВА, трехфазное энергопитание 380 В 50 Гц; камера – с водяным охлаждением; варианты контролируемой среды: продувка инертным газом (на выбор заказчика) или создание особо чистой контролируемой среды с использованием вакуумных систем других производителей; программное обеспечение: графическое отображение в реальном масштабе времени, сбор и анализ данных, протоколы обработки, рецепты параметров обработки и др.
Особенность нашего оборудования: бюджетная цена, высокая воспроизводимость параметров обработки, инновационные технические решения, надежность.
Вместе с данным решением часто смотрят: оптические приборы, разработка GSM шлюза.
